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科学技术进步,电子、医药、化学产品更新换代,净化车间洁净要求就逐渐重视起来,近年来,在大规模集成电路生产净化车间、FT-LCD生产用净化车间的建造、设计中,基本上采用多层的布置方式,在净化生产层吊顶格栅以上的上技术夹层常常作为送风静压箱,洁净空气通过FFU洁净装置向洁净生产层送风,实际上,净化生产层与上技术夹层是相通的;而洁净生产层的下部是活动地板及其支撑件和钢筋混凝土多孔板,在活动地板等以下是作为回风静压箱的下技术夹层,在下技术夹层常常还设置一些公用动力设备、辅助生产设备和公用动力管线等,净化生产层的回风通过活动地板、多孔板回至下技术夹层,实际上,下技术夹层与洁净生产层是相通的,所以可以认为:电子工厂净化车间垂直单向流洁净室的空间包括活动地板以下的下技术夹层,洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。这样设计就很好提高洁净度,
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